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靈猴的直線電機模組交叉滾子滑臺，采用超薄有鐵芯直線電機BPMA系列，推力大，體積小，齒槽力低，采用光柵尺，分辨率可達0.1微米，定位精度可達3微米，重復(fù)定位精度可滿足1微米，采用精密級防蠕動交叉滾子導(dǎo)軌，采用新型動磁結(jié)構(gòu)，線纜固定，外觀簡潔。 它的特點主要是，體積小，厚度僅75mm，適用于電子自動化設(shè)備。能夠最大限度利用空間，定位精度高。 某客戶需要小型直線電機應(yīng)用到設(shè)備上，需要峰值推力200N，最大加速度需要200mm/s，重復(fù)定位精度3微米。通過了解客戶需求，采用直線電機交叉滾子滑臺，尺寸為350mm*380mm，最大限度的節(jié)省了客戶設(shè)備的空間，重復(fù)定位精度1微米，滿足了客戶需求。